8月13日，坐落于杭州市余杭區(qū)的浙江大學(xué)校友企業(yè)總部經(jīng)濟園傳出喜訊：浙大成果轉(zhuǎn)化基地首批簽約孵化的項目之一，首臺國產(chǎn)商業(yè)化電子束光刻機已在客戶現(xiàn)場進入應(yīng)用測試，其精度比肩國際主流設(shè)備，標志著量子芯片研發(fā)從此有了“中國刻刀”。在項目現(xiàn)場，浙大量子研究院相關(guān)團隊緊張忙碌著，一臺模樣酷似大型鋼柜的機器正在做應(yīng)用測試，電子顯示屏上不斷閃爍著實時參數(shù)�！斑@不是普通的機器，而是一支能在頭發(fā)絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’！”團隊負責人告訴記者，依托省重點實驗室，研究院自主研發(fā)的新一代100kV電子束光刻機“羲之”已正式走向市場。

　　取名“羲之”，是因其精密“書寫”能力與書法家王羲之的毛筆神韻相契合�！爸徊贿^我們的‘毛筆’是電子束，在芯片上刻寫電路。”研發(fā)團隊相關(guān)負責人介紹，這臺設(shè)備專攻量子芯片、新型半導(dǎo)體研發(fā)的核心環(huán)節(jié)，它通過高能電子束在硅基上“手寫”電路，精度達到0.6nm，線寬8nm，可靈活修改設(shè)計無需掩膜版，如同用納米級毛筆在芯片上精準作畫，特別適合芯片研發(fā)初期的反復(fù)調(diào)試。

　　“羲之”的落地具有破局意義。此前，此類設(shè)備受國際出口管制，國內(nèi)頂尖科研機構(gòu)和企業(yè)長期無法采購。“羲之”的落地徹底打破這一困局，目前已與華為海思等企業(yè)及多家科研機構(gòu)展開接洽。

　　“羲之”的成功并非孤例，背后是科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新“兩新融合”的強力驅(qū)動。今年7月，浙江省級教育科技人才一體改革專項試點項目落地于余杭的浙江大學(xué)校友企業(yè)總部經(jīng)濟園，浙江大學(xué)、校友總部經(jīng)濟園和余杭共同聯(lián)手搭建成果轉(zhuǎn)化高速路：園區(qū)企業(yè)開出“技術(shù)需求清單”；浙大教授帶研究生組隊“揭榜”；地方政府從實驗室樣品到量產(chǎn)產(chǎn)品，全流程陪跑。

　　“羲之”電子束光刻機的成功應(yīng)用測試，是我國高端半導(dǎo)體核心裝備國產(chǎn)化的重大突破。這把自主可控的“中國刻刀”，將為加速國產(chǎn)高端芯片的研發(fā)進程、搶占未來科技制高點提供堅實的裝備基礎(chǔ)。

　　今年以來，余杭堅持以教育科技人才一體改革發(fā)展為主要支撐，以科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新深度融合為關(guān)鍵路徑，以人工智能為核心變量，整合建立教育科技人才一體推進機制，全力推進3個新獲批的省級教育科技人才一體改革專項試點，謀劃并實施一批教科人標志性項目。

　　下一步，余杭將依托教科人一體推進機制，圍繞高能級科創(chuàng)平臺、高層次科技人才、高水平科技企業(yè)、高質(zhì)量科技項目、高價值科技金融等“五高”主體，打造更多標志性成果，全力建設(shè)教育科技人才一體發(fā)展示范高地。